计量校准中三次元坐标仪原理分析

三次元测量仪，主要是指通过三维取点来进行计量检测的一种仪器，市场上也有叫三坐标，三坐标测量机，三维坐标测量仪，三次元。

三次元工作主要原理是：将被测物体置于三次元测量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经计算求出被测物体的几何尺寸，形状和位置。 基本原理就是通过探测传感器（探头）与测量空间轴线运动的配合，对被测几何元素进行离散的空间点位置的获取，然后通过一定的数学计算，完成对所测得点（点群）的分析拟合，终还原出被测的几何元素，并在此基础上计算其与理论值（名义值）之间的偏差，从而完成对被测零件的计量仪器校验工作.

三次元测量仪一般区分为滚珠线性滑轨及气浮滑轨两种，滚珠线性滑轨的干涉及变形较大，比较少使用在大型机台；现今的主流为气浮滑轨，其原理为压缩空气在空气轴承与轨道间形成一个几微米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空气层，也就是说空气轴承会浮在轨道上，这时便可轻易移动。

传动方式分手动、马达传动两种。一般有三种机型区分：

1. 手动量测　直接拉著Z轴或人工旋转手轮来移动。

2. 电控量测　移动轴安装马达，利用摇杆或电子手轮来控制移动。

3. CNC ( DCC) 自动量测　移动轴均安装伺服马达，并利用电控系统，在程式指令下可自动量测。