掩模板测量中的线条宽度

仪器校验研究对应芯片、掩模板测量中的线条宽度、间距、台阶高度、表面粗糙度、膜厚等被测量的校对样板，并对这些样板进行标定和比对，对于保证这些几何参数量值的统一和溯源具有十分重要的意义。多传感器测量及测量信息融合技术是现代测量计量技术出现的新特点。现代复杂机电系统涉及信息多，测量信息量大，传感器数量较多，多源巨量信息分析评估困难，需借助数据融合理论进行处理。多传感器测量应用中的数据融合技术正逐渐成为提升测量系统性能的关键技术之一。

结束语  校准在未来的测试计量及仪器技术的发展中，针对上述问题和发展趋势，着力加大科研投入，重视基础研究，紧密联系工程应用，相信在不久的将来我国测试计量技术及相关领域定可获得快速的发展，为我国科学技术和国民经济的发展发挥更大的作用。

计量器具维护、保养规定

1、目的确保计量器具正常使用，数据准确可靠，提高产品质量，延长器具使用寿命，特制定此规定。

2、适用范围校正适用于公司内所有计量器具的维护、保养。

3、职责

3．1公司内所有在用计量校准器具维护、保养由领用的操作者实施。

3．2公司内封存计量器具由计量管理员负责保养，并不定期检查。