概述无尘室测试与认证

仪器校验无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。

按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。

当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

计量校准所示，每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要仪器维修求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也 仪器检测检定  就是业内俗称的1K级别。

在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背 长度计量校准实验室景资料，提供给读者参考。

有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关数据。无尘室的定义，是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。仪器计量在欧洲与日本，随着工业的 千分尺维修 日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。

无尘室测试范围

凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。仪器校验在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位，应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。

待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量 。