纳米尺寸的镀层厚度测量

对于目前使用的绝大部分金相显微镜来说，尺寸测量功能已较为普遍并获得广泛应用，因此有必要对尺寸测量的准确性予以检查。在普通的放大倍数范围内，利用经校准的分度值为O．01rmn的玻璃刻度尺即可实现对金相显微镜尺寸测量误差的校准。

2．5扫描电子显微镜 扫描电子显微镜的工作原理是利用电子束扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应(主要是样品的二次电子和背散射电子发射)，通过对二次电子或背散射电子信号的成像来观察样品的表面形态。将镀层样品制成金相样或利用一定的方法直接获得镀层的断面，即可利用扫描电子显微镜测量镀层厚度。

仪器维修由于扫描电镜景深大、焦距长、成像清晰、放大倍数高，更适合亚微米及纳米尺寸的镀层厚度测量。通过直接对样品的断面进行扫描分析，也可避免金相制样时对样品镀层边缘的影响，从而获得更高的测量精度。但由于扫描电镜运行维护成本较高、样品需破坏并需经一定的前处理，分析效率并不高，适合于在实验室进行分析研究或抽样检测。目前我国有"JJG550—88扫描电子显微镜检定规程(试行)"，是由上海市计量测试技术研究院早提出并起草，1988发布并试行。随着科学技术的进步和扫描电子显微设备的飞速发展，该规程中有些检定方法已不适合现今的检定实际要求，但至今该规程仍未进行过修订。

JJG550—88规定了对扫描电镜的放大倍数误差、放大倍数示值重复性、图像线性失真度等重要指标进行检查，与金相显微镜一样，尺寸测量同样是扫描电镜设备使用较多的重要功能，但规程中并未提出对尺寸测量误差进行检查。

目前，仪器校验用于扫描电镜校准用的标样如格栅、线宽、线节距样板等基本都来自国外，在国内一直存在着量值溯源问题。受标样的限制，目前可对扫描电镜进行校准的计量单位并不多，迫切需要国内研究机构研发多种类型的标准样板并解决量值溯源问题。

3结束语 目前已存在多种商品化的镀层厚度测量仪，由于其工作原理和特点不同，适用于不同场合。电解式测厚仪和金相显微镜缺少国家计量 校准规范、扫描电子显微镜的试行检定规程也已不符合当前仪器的实际检定要求，因此急需国内计量单位开展相关规程和规范的制、修订工作。电解式测厚仪、x荧光测厚仪以及扫描电子显微镜的检定和校准都需专用的标准样品，而目前这几类标样基本都依赖进口，同时在国内也存在量值溯源问题，迫切需要国内计量机构开展相关的研究工作。